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作為真空泵,螺桿真空泵可以用于大部分的真空應用中。但作為干式真空泵中的一員,無油螺桿真空泵還在很多行業(yè)應用中有著很大的優(yōu)勢。
非耀LGB200螺桿真空泵用在化工減壓蒸餾
1、化工制藥、食品制造中的蒸餾、干燥、脫氣、包裝等,需要防止一些溶劑、油氣污染的應用,無油螺桿真空泵可以提供更加潔凈的真空應用環(huán)境。
2、制藥、石油化工行業(yè)中的油氣回收、溶劑回收等,防止回收介質污染、反應或減少分離操作的應用,回收效率更高。
3、半導體的蝕刻工藝。這些工藝中會產生研磨顆粒以及腐蝕性氣體,無油螺桿真空泵沒有與其反應的工作介質,同時間隙密封可以容許一定量的顆粒介質通過并排出,因此更加安全適用。
4、CVD、PECVD等氣相沉積應用,防止油氣、水蒸氣及其他雜質污染產品或與被抽介質發(fā)生反應。
在上述這些真空應用中,無油螺桿真空泵因為抽氣泵腔無油無水,氣體流道通暢,且通過型線間隙密封,轉子泵腔之間不產生摩擦接觸,與傳統(tǒng)的一些真空泵相比,更適應對應的工況,配置簡潔,運行效率更高更穩(wěn)定,從而提升工藝效率與品質。